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恒运昌第四代等离子体射频电源Cedar系列验证中支持快速大数据采集

来源：互联网 2026-08-05 09:46:15

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恒运昌第四代等离子体射频电源系统Cedar系列处于验证阶段，该一体化平台支持快速大数据采集。上游已实现真空电容等元器件国产化，产能利用率达98.51%，正推进沈阳及深圳产能建设并布局多地营销中心。

6月4日，恒运昌（688785.SH）披露了一份投资者关系活动记录表，其中包含多项值得关注的核心信息。

等离子体射频电源系统应用领域广泛

恒运昌最核心的产品是等离子体射频电源系统。该系统的应用领域广泛，不仅涵盖半导体工艺中的薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶、键合等环节，还覆盖光伏电池片薄膜沉积、显示面板镀膜、精密光学镀膜以及常压等离子体清洗等工业生产场景。值得注意的是，这套系统的定制化程度很高——通常由下游设备厂商先提出技术指标和功能要求，恒运昌再根据客户需求自主研发新产品，并制作样机供客户验证。这意味着该产品并非标准件，而是深度定制的解决方案。

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第四代产品Cedar系列处于验证阶段

在产品迭代方面，截至2025年年底，恒运昌第四代等离子体射频电源系统Cedar系列仍处于验证阶段。该系列的最大亮点是将射频电源和匹配器整合成一体化平台，同时配备多个中心阻抗应用，能够实现快速数据采集和大数据处理。这一设计对于支撑更先进制程具有重要意义。

上游供应链体系稳定，国产化进展显著

在上游供应链方面，恒运昌建立了相对稳定的供应商体系。评估维度包括经营资质、生产能力、技术水平、质量管控水平、产品价格、响应速度和付款条件。通过综合评定后，合格供应商被列入名录，并在供货阶段实行动态管理，持续优化采购渠道。为保证生产连续性和稳定性，公司对常用材料建立了安全库存机制，考量因素包括采购周期、供应商供货能力和起订门槛等。

从原材料构成看，等离子体射频电源系统所用的主要元器件包括电容、电阻、芯片等电子元器件，功率模块等电气件，以及钣金件等结构件。一个关键进展是：自2024年开始，恒运昌在上游采购中已逐步实现真空电容、陶瓷电容、MCU、SiC MOS、LDMOS、部分ADC和FPGA等元器件的国产化应用。目前，公司已确定上游元器件的全国产化方案，后续将持续推进全面国产化验证工作。这意味着在供应链安全上，恒运昌正朝着更自主可控的方向发展。

产能连续三年超负荷运行，扩产项目同步推进

产能方面，恒运昌已连续三年超负荷运行，2025年产能利用率为98.51%，接近满载。为缓解紧张状况，公司从两个方向发力：一是通过扩产和生产流程优化提升产能，具体举措包括积极推进子公司恒运昌真空技术（沈阳）有限公司的建设与正式运营，帮助其从试产走向正式投产，同时推进深圳产能建设；二是逐步推进半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目的建设。两条线并行推进，后续产能释放值得期待。

营销及技术支持中心项目布局全国

恒运昌正在推进“营销及技术支持中心项目”。项目逻辑清晰：在长三角地区、京津冀地区、中西部地区等晶圆制造集群区域设立营销及技术支持中心，目标是提升与晶圆厂的协同效率，保障产能快速扩张下的芯片良率与生产连续性。目前，公司已新增全资子公司北京恒运昌、上海恒运昌、武汉恒运昌、合肥恒运昌作为该募投项目的实施主体。其中，北京恒运昌已进入正式运营阶段，其余三家处于前期准备阶段。从布局节奏看，长三角和中部地区的落子才刚刚开始。

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